低损耗氮化硅薄膜

氮化硅光学薄膜具有宽的透明窗口，在薄膜光学、集成光子器件、非线性光学等领域有着重要应用

提供定制化服务，在保证高品质的同时对薄膜应力进行管理，可以提供定制化薄膜厚度（20-800nm）生长